在光电子封装、量子点器件研发等微观领域，既要 “看清” 纳米级的结构细节，又要 “精准” 加工或取样 —— 能同时实现这两大需求的，正是 SEM-FIB 双束显微镜。

     它将扫描电子显微镜（SEM）的 “高清观察” 能力与聚焦离子束显微镜（FIB）的 “精细加工” 能力融为一体，就像给科研人员配备了 “微观放大镜 + 纳米手术刀”，既能看透器件内部的微观结构，又能在纳米尺度上 “雕刻” 或 “取样”，成为高端制造与前沿科研的 “核心工具”。

      本文介绍了SEM-FIB双束显微镜的基本原理和应用案例。SEM-FIB 双束显微镜通过 SEM 高分辨率成像与 FIB 精准微纳加工的协同融合，构建了 “可视化 - 精准化 - 一体化” 的微纳表征与加工平台，突破了传统设备的功能局限。

      其应用已覆盖材料科学、半导体、生命科学、储能地质等多个领域，在定向 TEM 样品制备、芯片失效分析、生物样品三维成像等关键场景中发挥核心作用，推动了科研探索与工业生产的技术进步。

     上海交大-平湖智能光电研究院拥有蔡司的SEM-FIB双束显微镜,能为客户提供定制化的服务，接下来我们会不定期分享关于SEM-FIB双束显微镜应用的具体案例，欢迎大家关注与咨询！